影響(xiǎng)潔淨室都有哪些因素
2021-02-10 11:03:47
影響潔淨室(shì)的氣流因素很多,如製程設備、人員、潔淨室組裝材、照明器具等;以及生產設備上方氣流的分流點(diǎn)。
一般操作(zuò)台或生產設備等表(biǎo)麵的氣流分流點,應設(shè)於潔淨室空間與隔(gé)牆板間距2/3之處,如此(cǐ)可使(shǐ)作業人員工作時,氣流可從製程區內部流向作(zuò)業區,而將微(wēi)塵帶走;若分流點配置在製程區前方,將成為不當的氣(qì)流分流,此時大部份(fèn)的(de)氣流(liú)將流至製程區之後,作(zuò)業員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備(bèi)後麵,工作台因而將受到汙染,良率也勢必降低。
潔淨(jìng)室內的工作桌等障礙物,在相接處(chù)均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔(jié)淨度將會較差,在工作桌麵鑽上回風孔,將使渦流(liú)現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善(shàn),亦為氣流是否成為渦流現象之(zhī)重要因素。
潔淨室的(de)構成是由下列各項係統所(suǒ)組成(chéng)(在所組成的係統分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構成一完整且(qiě)品質良好(hǎo)的潔(jié)淨室:天花(huā)板係統(tǒng);空調係統;隔牆板;地板;照明器具。
注:潔淨室之建築主體構造,一般(bān)是用鋼筋或骨(gǔ)水(shuǐ)泥,但無論是何種構造,必須滿足以下條件:不會因溫度變化與振動而發生裂痕;不易(yì)產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;吸濕性小;為了維持室(shì)內之濕度條(tiáo)件,熱(rè)絕(jué)緣性要(yào)高。