潔淨室幾個熱點問題歸納和分析

　　一.前（qián）言

　　潔淨室的氣流速度/換氣（qì）次數，一直是潔淨室設計中受到關注的問題（tí），隨（suí）著潔淨室汙染源的控製效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關規範、導則等提出的推薦或參（cān）考值是否偏於保守，已有不少討論;FFU在應用（yòng）中人們擔心的噪音、損（sǔn）壞維修等問題已在（zài）實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進（jìn），對是否采用FFU回風係統（tǒng）也是個熱點：懸（xuán）浮分子汙染(AMC)的控製在微電子及（jí）IC工業（yè）中已日益提到日程上來，受到（dào）關注。以下（xià）對這（zhè）些問題的情況分別作（zuò）歸納（nà）和分（fèn）析（xī）。

　　二.氣流速度

　　2.1有關推薦或參考值的應用

　　潔淨室內一定潔淨度下氣（qì）流速度的確定，隨潔（jié）淨室用途（tú）等具體情況（kuàng）而異，它不僅受室內發塵量及過濾器效率（lǜ）還受其他因素影響，就工業潔淨室而言，影響潔（jié）淨度及（jí）選擇（zé）氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內汙（wū）染源：建築物組件、人員數量及操作活動（dòng）、工藝設（shè）備、工藝材料及工藝加（jiā）工（gōng）本身（shēn）等都是塵粒釋放源（yuán），根據具（jù）體情況而異（yì），變化（huà）很大;

　　(2)室內氣流（liú）流型及（jí）分布：單向流要求均勻、平等的流線，但（dàn）會受到工藝設（shè）備布置和位置變（biàn）動及人員活動情況（kuàng）等（děng）的幹擾形成局部渦流;而非單（dān）向流要求（qiú）充混合，避免死角及溫度分層;

　　(3)自淨時間(恢複時間)的控（kòng）製要求：潔（jié）淨（jìng）室中事故釋放或帶入汙（wū）染（rǎn）物或空氣氣流的中斷或正（zhèng）常操作（zuò）時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔淨度的（de）惡（è）化，恢複到原來潔淨（jìng）度的自淨時間決定於氣流速度;對自淨時間的控（kòng）製要求取決於此時間框架內（nèi）(惡（è）化的潔淨度（dù）下)，對產品生（shēng）產的（de）質量（liàng）及成品率（lǜ）影響（xiǎng）的承受能力;

　　(4)末級（jí）過濾器的效率：在一定的室（shì）內發塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度;為（wéi）節能應考慮采用較（jiào）高效率（lǜ）的過濾器，並降低氣流速度，或采（cǎi）用（yòng）較低效率的過濾（lǜ）器並采用較高（gāo）的（de）氣流速（sù）度，以求流量與阻力的乘積最小;

　　(5)經濟性考慮：過大的氣流速度造成（chéng）投資及運（yùn）行費用的增加，合適的（de）氣流速度（dù）為以上諸（zhū）因素合理的綜合，過（guò）大往往不（bú）必要，亦不一定有效果;

　　(6)對潔淨度要求低的潔淨室，有時換氣次數決定於室（shì）內（nèi）排熱的要求（qiú）。

　　以（yǐ）上（shàng）因素，皆很難量（liàng）化，隻能分析對比並估計。因此在（zài）工程應用中，對潔淨室的氣流速度往（wǎng）往參照有關規範、導則（zé）等的推薦或參考（kǎo）值（zhí），再按具體情況估（gū）計以上各影響因素（sù）進行綜合考慮後確定。